薄膜
纳米结构的薄膜和涂层功能特性
《纳米结构的薄膜和涂层功能特性》,作者:Sam Zhang[著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030321367。本书首先介绍功能薄膜大尺度制作与加工的化学途径，纳米复合材料薄膜的制作与表征。其次讲解了低维纳米复合材料的制作及其应用，硅纳米晶的光学和光电子学特性。最后介绍了可控微/纳米结构薄膜和器件，微系统应用的薄膜形状记忆合金等内容。
微小世界里的新天地 : 神奇的薄膜
《微小世界里的新天地 : 神奇的薄膜》,作者:(日)麻莳立男著；谭毅， 史蹟译 出版社:科学出版社 ISBN:9787030319357。本书共12章，介绍了薄膜的生产、特性以及应用，内容包括制备薄膜的重要环境条件——真空、薄膜的制备、薄膜特有的性质、增强基板与薄膜结合的技术、等离子体在薄膜制备中的重要性等。
多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用 | 2版
《多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用 | 2版》,作者:王阳元等编著 出版社:科学出版社 ISBN:7030080351。本书重点阐述多晶硅薄膜的基本性质及工艺机理，还包括多晶硅薄膜在MOS集成电路和双极集成电路中的应用等内容。
碳纳米管、石墨烯纤维及薄膜
《碳纳米管、石墨烯纤维及薄膜》,作者:张兴祥，耿宏章编著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030410849。本书系统归纳总结了碳纳米管、石墨烯及其纤维和薄膜的制备方法、性能和应用方面的研究进展，并涉及了碳纳米管和石墨烯增强聚合物材料、碳纤维和中空纤维膜等方面的研究进展。
反射高能电子衍射在薄膜生长中的表面分析
《反射高能电子衍射在薄膜生长中的表面分析》,作者:魏贤华著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030338150。本书以固态薄膜表面为研究对象，主要论述了反射高能电子衍射在监测薄膜生长中的应用。本书从表面晶体学和表面结构形貌分析的原理与方法出发，基于反射电子衍射原理，介绍了其衍射图案的标定、强度振荡及在薄膜生长动力学中的定量分析，最后还总结了近年来反射高能电子衍射的一些新应用。
