薄膜
薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论
《薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论》,作者:钱征华等 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030703569。薄膜体声波谐振器(FBAR)是一种利用压电效应制成的高精度频率基准器件，广泛应用于通信与传感领域。与传统谐振器相比，FBAR具有高频率、微尺寸、易加工、易集成等优势，更符合现代电子器件的发展趋势。然而，FBAR的结构振动分析涉及结构的复杂性、材料各向异性、高频率振动、多模态耦合
压电薄膜的制备、结构与应用
《压电薄膜的制备、结构与应用》,作者:许小红，武海顺编著 出版社:科学出版社 ISBN:7030108078。本书系统地介绍了压电学的基本原理和压电薄膜的制备方法、形成过程、结构特征及其应用。
薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术
《薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术》,作者:陈吉堃 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030699152。低温等离子体被广泛应用于脉冲激光沉积、磁控溅射、等离子体增强化学气相沉积等现代半导体薄膜真空沉积技术中，并承担着薄膜组分物质输运、薄膜形核与生长动力学调控等关键性角色。由于等离子体性质是联系薄膜真空沉积条件与沉积性能的关键性纽带，以对等离子体性质的表征与探测为突破口并建立其与薄膜
纳米结构的薄膜和涂层. 力学性能. Mechanical properties
《纳米结构的薄膜和涂层. 力学性能. Mechanical properties》,作者:Sam Zhang[著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030334954。本书集中讨论了薄膜的基本特性，如硬度、韧性和附着力，在着重讨论制程和性能的同时，还提供了有关理论和尺寸效应的详细分析。
金属陶瓷薄膜及其在光电子技术中的应用
《金属陶瓷薄膜及其在光电子技术中的应用》,作者:孙大明，孙兆奇著 出版社:科学出版社 ISBN:7030132300。本书叙述了金属陶瓷薄膜的制备技术、结构性能、理论模型以及应用前景。书中内容涉及国际、国内的最新进展与发展趋势等。
薄膜基荧光传感技术与应用
《薄膜基荧光传感技术与应用》,作者:房喻著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030624932。薄膜基荧光传感是继离子迁移谱之后业界公认的最具发展潜力的微痕量物质探测技术。《薄膜基荧光传感技术与应用》涵盖了荧光传感基本原理、敏感薄膜材料创制策略、薄膜器件化方式和途径、典型薄膜基荧光传感器的结构与性能，以及薄膜基荧光传感器发展面临的挑战等内容，比较完整地反映了当今薄膜基荧光传
