反射高能电子衍射在薄膜生长中的表面分析
《反射高能电子衍射在薄膜生长中的表面分析》,作者:魏贤华著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030338150。本书以固态薄膜表面为研究对象，主要论述了反射高能电子衍射在监测薄膜生长中的应用。本书从表面晶体学和表面结构形貌分析的原理与方法出发，基于反射电子衍射原理，介绍了其衍射图案的标定、强度振荡及在薄膜生长动力学中的定量分析，最后还总结了近年来反射高能电子衍射的一些新应用。
薄膜
纳米结构的薄膜和涂层. 力学性能. Mechanical properties
《纳米结构的薄膜和涂层. 力学性能. Mechanical properties》,作者:Sam Zhang[著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030334954。本书集中讨论了薄膜的基本特性，如硬度、韧性和附着力，在着重讨论制程和性能的同时，还提供了有关理论和尺寸效应的详细分析。
压电薄膜的制备、结构与应用
《压电薄膜的制备、结构与应用》,作者:许小红，武海顺编著 出版社:科学出版社 ISBN:7030108078。本书系统地介绍了压电学的基本原理和压电薄膜的制备方法、形成过程、结构特征及其应用。
薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论
《薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论》,作者:钱征华等 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030703569。薄膜体声波谐振器(FBAR)是一种利用压电效应制成的高精度频率基准器件，广泛应用于通信与传感领域。与传统谐振器相比，FBAR具有高频率、微尺寸、易加工、易集成等优势，更符合现代电子器件的发展趋势。然而，FBAR的结构振动分析涉及结构的复杂性、材料各向异性、高频率振动、多模态耦合
Residual Stresses and Nanoindentation Testing of Films and Coatings（涂层薄膜应力及其纳米压痕检测）
《Residual Stresses and Nanoindentation Testing of Films and Coatings（涂层薄膜应力及其纳米压痕检测）》,作者:王海斗,朱丽娜,徐滨十著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030567314。无
纳米结构的薄膜和涂层功能特性
《纳米结构的薄膜和涂层功能特性》,作者:Sam Zhang[著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030321367。本书首先介绍功能薄膜大尺度制作与加工的化学途径，纳米复合材料薄膜的制作与表征。其次讲解了低维纳米复合材料的制作及其应用，硅纳米晶的光学和光电子学特性。最后介绍了可控微/纳米结构薄膜和器件，微系统应用的薄膜形状记忆合金等内容。
