薄膜物理学

薄膜物理学
130313366
( )埃克托瓦(Eckertova， L.)著；五广阳译

O484
科学出版社
1986-12
1986
1986
本书是薄膜物理学和工艺学的一本入门书．全书共分三部分，第一部分介绍薄膜的制备方法，着重介绍真空蒸发和阴极溅射法．此外还介绍了现行的测量和监控薄膜厚度及淀积速率的方法，第二部分论述薄膜形成的物理基础，主要论述成核理论和生长理论，以及影响薄膜（包括外延膜）最终结构的各种因素，并详细介