多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用 | 2版

多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用 | 2版
7030080351
王阳元等编著
微电子学丛书
TN44
科学出版社
2001-01
2001
2001
本书重点阐述多晶硅薄膜的基本性质及工艺机理，还包括多晶硅薄膜在MOS集成电路和双极集成电路中的应用等内容。