微传感器与微执行器全书

微传感器与微执行器全书
7030105656
(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs)著；张文栋等译

TH86
科学出版社
2003-03
2003
2003
本书共分九章，涉及了MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。