MEMS光纤声压传感器技术

MEMS光纤声压传感器技术
9787030693273
金鹏等 著

TP212.4
科学出版社
2022-03
2022
2022
本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；最后对传感器的性能进行详细的测试。