高温SiC MEMS传感器的热电特性

高温SiC MEMS传感器的热电特性
9787030724892
（澳）丁东安（Toan Dinh）,（澳）阮南中（Nam-Trung Nguyen）,（澳）陶宗越（Dzung Viet Dao） 著;王兴华等 译

TM54;TH-39
科学出版社
2022-06
2022
2022
本书主要介绍了碳化硅(SiC)传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展；第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。