碳化硅宽带隙半导体技术

碳化硅宽带隙半导体技术
7030082435
郝跃等编著
微电子学丛书
TN304.2
科学出版社
2000-05
2000
2000
本书介绍了碳化硅宽带隙半导体的基本性质，晶体及薄膜生长技术，器件工艺以及在高温、高频、大功率器件等领域的应用，同时也对金刚石以及CaN基Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体作了简单介绍。