半导体光谱测试方法与技术

半导体光谱测试方法与技术
9787030472229
张永刚,顾溢,马英杰著
半导体科学与技术丛书
O472
科学出版社
2016-01
2016
2016
本书在回顾光谱学和光谱仪器的发展过程后，对半导体中涉及的主要光学过程以及半导体材料、器件及应用研究中需要哪些光谱分析手段和方法作了简要介绍，然后以分光（色散）和傅里叶变换两种方法为基础讨论了光谱分析的基本原理、测试仪器、关键部件、系统构成以及限制因素等，并结合一系列测量实例对吸收