半导体物理与器件实验教程

半导体物理与器件实验教程
9787030442215
刘诺，任敏，钟志亲，蒋书文，罗小蓉
微电子专业实验教材系列丛书
O47-33;TN303-33
科学出版社
2015-06
2015
2015
本书分上、下两篇。上篇为半导体物理实验部分，包括晶体结构构建、晶体电子结构仿真与分析、单波长椭偏法测试分析薄膜的厚度与折射率等；下篇为微电子器件实验部分，包括二极管直流参数测试、双极型晶体管直流参数测试、MOS场效应晶体管直流参数测试等。