微电子制造技术实验教程

微电子制造技术实验教程
9787030444943
王姝娅，戴丽萍，钟志亲，王刚，杜江锋
微电子专业实验教材系列丛书
TN4-33
科学出版社
2015-06
2015
2015
本书以微电子器件制造过程为主线，重点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础知识和实验方法。第1、2章介绍清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、沉积等相关制造工艺的基础知识和基础实验，详细阐述各项单步工艺的实验原理、实验设备、实验方法和步骤。第3章介绍微电子器件制造过程中的