微系统和纳米技术

微系统和纳米技术
9787030177711
周兆英，王中林， 林立伟主编

TB383
科学出版社
2007-07
2007
2007
微系统和纳米技术，是微米纳米技术的两个重要组成，既有区别又有联系，是一个新兴的多学科交叉的科技领域。本书由40多位国内外著名专家学者分章撰写，分为微系统和纳米科学技术基础、微系统技术、纳米技术、应用问题、发展和展望等五个部分，共26章。。