周兆英

微系统和纳米技术

《微系统和纳米技术》,作者:周兆英,王中林, 林立伟主编 出版社:科学出版社 ISBN:9787030177711。微系统和纳米技术,是微米纳米技术的两个重要组成,既有区别又有联系,是一个新兴的多学科交叉的科技领域。本书由40多位国内外著名专家学者分章撰写,分为微系统和纳米科学技术基础、微系统技术、纳米技术、应用问题、发展和展望等五个部分,共26章。。