微纳米技术及其应用

微纳米技术及其应用
7030152883
李德胜[等]编著

TB383
科学出版社
2005-07
2005
2005
本书在概述了微机电系统技术的发展背景、现状及其应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详细的介绍。