微纳米技术及其应用 《微纳米技术及其应用》,作者:李德胜[等]编著 出版社:科学出版社 ISBN:7030152883。本书在概述了微机电系统技术的发展背景、现状及其应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详细的介绍。 壹号书单 2005年07月01日 0 点赞 0 评论 47 浏览
