钟志亲
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微电子制造技术实验教程

微电子制造技术实验教程

《微电子制造技术实验教程》,作者:王姝娅，戴丽萍，钟志亲，王刚，杜江锋 出版社:科学出版社 ISBN:9787030444943。本书以微电子器件制造过程为主线，重点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础知识和实验方法。第1、2章介绍清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、沉积等相关制造工艺的基础知识和基础实验，详细阐述各项单步工艺的实验原理、实验设备、实验方法和步骤。第3章介绍微电子器件制
壹号书单 2015年06月01日
半导体物理与器件实验教程

半导体物理与器件实验教程

《半导体物理与器件实验教程》,作者:刘诺，任敏，钟志亲，蒋书文，罗小蓉 出版社:科学出版社 ISBN:9787030442215。本书分上、下两篇。上篇为半导体物理实验部分，包括晶体结构构建、晶体电子结构仿真与分析、单波长椭偏法测试分析薄膜的厚度与折射率等；下篇为微电子器件实验部分，包括二极管直流参数测试、双极型晶体管直流参数测试、MOS场效应晶体管直流参数测试等。
壹号书单 2015年06月01日