多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用 | 2版
《多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用 | 2版》,作者:王阳元等编著 出版社:科学出版社 ISBN:7030080351。本书重点阐述多晶硅薄膜的基本性质及工艺机理，还包括多晶硅薄膜在MOS集成电路和双极集成电路中的应用等内容。
薄膜
微小世界里的新天地 : 神奇的薄膜
《微小世界里的新天地 : 神奇的薄膜》,作者:(日)麻莳立男著；谭毅， 史蹟译 出版社:科学出版社 ISBN:9787030319357。本书共12章，介绍了薄膜的生产、特性以及应用，内容包括制备薄膜的重要环境条件——真空、薄膜的制备、薄膜特有的性质、增强基板与薄膜结合的技术、等离子体在薄膜制备中的重要性等。
纳米结构的薄膜和涂层功能特性
《纳米结构的薄膜和涂层功能特性》,作者:Sam Zhang[著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030321367。本书首先介绍功能薄膜大尺度制作与加工的化学途径，纳米复合材料薄膜的制作与表征。其次讲解了低维纳米复合材料的制作及其应用，硅纳米晶的光学和光电子学特性。最后介绍了可控微/纳米结构薄膜和器件，微系统应用的薄膜形状记忆合金等内容。
