薄膜
Residual Stresses and Nanoindentation Testing of Films and Coatings（涂层薄膜应力及其纳米压痕检测）
《Residual Stresses and Nanoindentation Testing of Films and Coatings（涂层薄膜应力及其纳米压痕检测）》,作者:王海斗,朱丽娜,徐滨十著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030567314。无
薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术
《薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术》,作者:陈吉堃 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030699152。低温等离子体被广泛应用于脉冲激光沉积、磁控溅射、等离子体增强化学气相沉积等现代半导体薄膜真空沉积技术中，并承担着薄膜组分物质输运、薄膜形核与生长动力学调控等关键性角色。由于等离子体性质是联系薄膜真空沉积条件与沉积性能的关键性纽带，以对等离子体性质的表征与探测为突破口并建立其与薄膜
薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论
《薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论》,作者:钱征华等 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030703569。薄膜体声波谐振器(FBAR)是一种利用压电效应制成的高精度频率基准器件，广泛应用于通信与传感领域。与传统谐振器相比，FBAR具有高频率、微尺寸、易加工、易集成等优势，更符合现代电子器件的发展趋势。然而，FBAR的结构振动分析涉及结构的复杂性、材料各向异性、高频率振动、多模态耦合
纳米结构的薄膜和涂层功能特性
《纳米结构的薄膜和涂层功能特性》,作者:Sam Zhang[著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030321367。本书首先介绍功能薄膜大尺度制作与加工的化学途径，纳米复合材料薄膜的制作与表征。其次讲解了低维纳米复合材料的制作及其应用，硅纳米晶的光学和光电子学特性。最后介绍了可控微/纳米结构薄膜和器件，微系统应用的薄膜形状记忆合金等内容。
压电薄膜的制备、结构与应用
《压电薄膜的制备、结构与应用》,作者:许小红，武海顺编著 出版社:科学出版社 ISBN:7030108078。本书系统地介绍了压电学的基本原理和压电薄膜的制备方法、形成过程、结构特征及其应用。
碳纳米管、石墨烯纤维及薄膜
《碳纳米管、石墨烯纤维及薄膜》,作者:张兴祥，耿宏章编著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030410849。本书系统归纳总结了碳纳米管、石墨烯及其纤维和薄膜的制备方法、性能和应用方面的研究进展，并涉及了碳纳米管和石墨烯增强聚合物材料、碳纤维和中空纤维膜等方面的研究进展。
基于脉冲激光沉积富硼B-C薄膜的关键技术研究
《基于脉冲激光沉积富硼B-C薄膜的关键技术研究》,作者:章嵩 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030553331。 本书旨在利用脉冲激光沉积技术，将其分别采用碳化硼陶瓷靶与硼碳拼合靶为靶材。通过对靶材成分、组成形式及沉积温度等工艺参数的调整，得到表面平整、厚度均匀及成分可控的富硼B-C薄膜，建立靶材成分、组成形式和沉积温度等工艺参数与薄膜组成、结构之间的关系，对该系列薄膜的生长机理进行
