薄膜
薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术
《薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术》,作者:陈吉堃 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030699152。低温等离子体被广泛应用于脉冲激光沉积、磁控溅射、等离子体增强化学气相沉积等现代半导体薄膜真空沉积技术中，并承担着薄膜组分物质输运、薄膜形核与生长动力学调控等关键性角色。由于等离子体性质是联系薄膜真空沉积条件与沉积性能的关键性纽带，以对等离子体性质的表征与探测为突破口并建立其与薄膜
压电薄膜的制备、结构与应用
《压电薄膜的制备、结构与应用》,作者:许小红，武海顺编著 出版社:科学出版社 ISBN:7030108078。本书系统地介绍了压电学的基本原理和压电薄膜的制备方法、形成过程、结构特征及其应用。
薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论
《薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论》,作者:钱征华等 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030703569。薄膜体声波谐振器(FBAR)是一种利用压电效应制成的高精度频率基准器件，广泛应用于通信与传感领域。与传统谐振器相比，FBAR具有高频率、微尺寸、易加工、易集成等优势，更符合现代电子器件的发展趋势。然而，FBAR的结构振动分析涉及结构的复杂性、材料各向异性、高频率振动、多模态耦合
