光致抗蚀剂 : 光刻胶

光致抗蚀剂 : 光刻胶
13031600
中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组

TN305.7
科学出版社
1977-10
1977
1977
本书综述了光致抗蚀剂（简称光刻胶）使用、生产与研究的现状．重点论述了光致抗蚀剂的类型、感光机理、感光度和光刻工艺，并详细地介绍了几种光致抗蚀剂的合成方法，对光致抗蚀剂的发展趋向也作了简要的分析和讨论． 本书作为技术参考书，可供从事半导体电子器件研究与生产单位的工人