金属-绝缘体-半导体微电子学系统的物理基础

金属-绝缘体-半导体微电子学系统的物理基础
7030000838
(苏)利托夫琴科(Литовченко，В.Г.)，(苏)戈尔班(Горбань，А.П.)著；黄振岗，叶汝求译

TN432.2
科学出版社
1988-10
1988
1988
本书探讨了制备绝缘体-半导体、金属-绝缘体-半导体型层状结构的各种方法，以及对其参数和电学性质的研究，并总结了对MIS系统非平衡过程的各种测试和分析方法等内容。