纳米CMOS器件 703011163X 甘学温等编著 TN303 科学出版社 2003-01 2003 2003 本书共六章。内容涉及CMOS器件等比例缩小的发展趋势,缩小到纳米尺寸的CMOS器件面临的挑战,实现纳米图形尺寸的光刻技术等。
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