超大规模集成电子学 : 微结构科学. 第2册

超大规模集成电子学 : 微结构科学. 第2册
15031775
方兆强等编译

TN47
科学出版社
1987-02
1987
1987
本书是《超大规模集成电子学 微结构科学》的第二册。全书共六章，分别介绍了用于超大规模集成电路中的一些器件和介质材料的特征、电学性质、物理限制及检测与分析方法．　　本书可供从事大规模和超大规模集成电路研制和生产的研究人员、工程技术人员及大专院校有关专业师生、研究生参考．