传感器原理及其应用

传感器原理及其应用
9787030374493
温殿忠，赵晓锋编著

TP212
科学出版社
2013-06
2013
2013
本书系统阐述了磁敏感元器件和磁传感器、压电式传感器、压阻式传感器等物理传感器结构、工作原理和特性，介绍了硅各向异性腐蚀技术、传感器集成化及传感器CAD等传感器技术。