超纯挥发性无机氢化物
130312765
Г.Г.杰维蒂赫
O613.2
科学出版社
1985-02
1985
1985
周期表第三、四、五、六族元素的挥发性氢化物广泛应用于高纯元素的制备和半导体外延层生长及掺杂等方面．本书第一至五章介绍了这些氢化物的性质、制备、提纯、分析方法和杂质的种类及其来源．第六、七章介绍超纯氨和超纯卤化氢的性质、制备、提纯以及分析方法． 本书可供从事高纯元素
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