电子电镀铜柱及其酸洗缓蚀剂技术
9787030609724
陶志华著
信息材料与应用技术丛书
TG146.1;TG174.42
科学出版社
2019-06
2019
2019
《电子电镀铜柱及其酸洗缓蚀剂技术》共6章，主要针对电镀前处理（酸洗）和电镀铜柱（定向电镀）制作技术，以电沉积金属和腐蚀电化学理论为基础，陈述了三唑化合物作为酸洗缓蚀剂的评价方法、缓蚀机理等，针对电镀铜柱制作特点系统地阐释了整平剂、加速剂和抑制剂之间的协同交互作用规律以及电镀填盲孔
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