原子层沉积技术——原理及其应用

原子层沉积技术——原理及其应用
9787030483751
李爱东
南京大学材料科学与工程系列丛书
TB3
科学出版社
2016-06
2016
2016
本书是面向研究生和从事材料研发等相关行业的科研人员系统介绍原子层沉积技术原理及其应用的一本专业书籍，共13章。包括原子层沉积的发展历史、原理、前驱体、沉积材料及其理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积技术，还涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学