半导体材料（第二版）

半导体材料（第二版）
7030128176
杨树人等编著

TN304
科学出版社
2004-01
2004
2004
本书主要介绍半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理，工艺和特性的控制等，全书包括：硅和锗的化学制备，区熔提纯，晶体生长，硅、锗晶体中的杂质和缺陷，硅外延生长等11章。