纳米加工和器件

纳米加工和器件
9787030346599
David L. Andrews，Gregory D. Scholes，Gary P. Wiederrecht[编]
纳米科学与技术大全
TB383
科学出版社
2012-07
2012
2012
本书共19章，内容主要是新型微纳加工技术和基于微纳加工技术的新器件。从介绍扫描探针刻蚀技术开始，分别详细介绍了机械力诱导和电场电流诱导的两种扫描探针刻蚀技术以及这两种技术在生物和有机材料表面纳米结构加工中的应用等。