先进计算光刻
9787030781246
李艳秋等 著
科学出版社
2024-04
2024
2024
先进计算光刻技术是集成电制造装备和工艺的核心技术。《先进计算光刻》主要介绍作者在20余年从事光刻机研发中，建立的先进计算光刻技术，包括矢量计算光刻、快速-全芯片计算光刻、高稳定-高保真计算光刻、光源-掩模-工艺多参数协同计算光刻等，能够实现快速-高精度-全曝光视场-低误差敏感度的
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