氮化铝晶体生长与应用

氮化铝晶体生长与应用
9787030696830
宋波,韩杰才,刘梦婷 编著

O614.3
科学出版社
2021-11
2021
2021
氮化铝（AlN）是一种典型的Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体材料。氮化铝拥有热导率高、热膨胀系数低、介电常数高、抗腐蚀能力强、热力学稳定性高等优异特性。本书系统、深入地介绍了氮化铝晶体的基本性质、生长方法和具体应用。全书分为7章：第1章是绪论，介绍了第一、二、三代半导体材料的基本概念、性质和