多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用

多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用
703000308X
王阳元

TN451
科学出版社
1988-08
1988
1988
本书介绍了多晶硅薄膜的性质及其在MOS和双极型集成电路中的应用。