半导体材料 | 3版

半导体材料 | 3版
9787030365033
杨树人，王宗昌，王兢编著

TN304
科学出版社
2013-02
2013
2013
本书介绍了主要半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理和工艺，以及特性的控制等，包括硅和锗的化学制备、区熔提纯、晶体生长、硅外延生长、低维结构半导体材料、氧化物半导体材料、照明半导体材料等内容。