半导体的检测与分析 | 2版

半导体的检测与分析 | 2版
9787030194626
许振嘉主编
半导体科学与技术丛书
TN304.07
科学出版社
2007-08
2007
2007
本书共分7章。内容包括：引论，半导体的高分辨X射线衍射，光学监测与分析，表面、薄膜成分分析，扫描探针显微学在半导体中的运用，透射电子显微学及其在半导体中的应用和半导体深中心的表征等。