超大规模集成电路先进光刻理论与应用

超大规模集成电路先进光刻理论与应用
9787030482686
韦亚一

TN305.7
科学出版社
2016-06
2016
2016
光刻技术是所有微纳器件制造的核心技术。特别是在集成电路制造中，正是由于光刻技术的不断提高才使得摩尔定律（器件集成度每两年左右翻一番）得以继续。本书覆盖现代光刻技术的主要方面，包括设备、材料、仿真（计算光刻）和工艺，内容直接取材于国际先进集成电路制造技术，为了保证先进性，特别侧重于