衬底基片超精密加工技术

衬底基片超精密加工技术
9787030392817
周海编著

TN204
科学出版社
2014-11
2014
2014
本书讲述了光电子领域重要衬底材料——蓝宝石衬底基片的超精密加工技术。内容包括：蓝宝石晶体生长技术、蓝宝石晶体切片技术、蓝宝石衬底基片倒角技术、衬底基片精密研磨技术、衬底基片精密抛光技术、衬底基片净化技术、衬底基片检测技术。详细介绍了蓝宝石衬底基片从晶体生长到可用于外延生长的衬底基