碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法

碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法
9787030391100
李圣怡等著
微纳制造的基础研究学术著作丛书
TH744
科学出版社
2014-01
2014
2014
本书重点介绍碳/碳化硅(C/SiC)、硅/碳化硅(Si/SiC)两相涂层、化学气相沉积碳化硅(CVD SiC)、反应烧结碳化硅(RB SiC)和烧结碳化硅(S SiC)等5种典型国产SiC光学材料光学面形加工的基础理论和工艺。