半导体材料测试与分析

半导体材料测试与分析
9787030270368
杨德仁等著
半导体科学与技术丛书
TN304.07
科学出版社
2010-04
2010
2010
本书主要介绍半导体材料的各种测试分析技术，涉及测试技术的基本原理、仪器结构、样品制备和应用实例等内容：包括四探针电阻率、无接触电阻率、扩展电阻、微波光电导衰减、霍尔效应、红外光谱等测试分析技术。