软X射线与极紫外辐射的原理和应用

软X射线与极紫外辐射的原理和应用
7030108132
(美)D.阿特伍德著；张杰等译

O434
科学出版社
2003-08
2003
2003
本书主要介绍X射线与级紫外辐射的基本特性，讨论它们在半导体芯片制备等多个领域的广泛应用，并提供大量参考资料进行辅助讲述。