电子束与离子束 : 译文集

电子束与离子束 : 译文集
1503151
《电子束资料组》译

TL501
科学出版社
1972-12
1972
1972
本译文集系根据日本1969年11月出版的专辑《Electron & Ion Beam Technology》（电气试验所汇报，第33卷，第11号）一书译出。其中共收集十二篇文章，主要是介绍电子束设备的电子光学系统，直流高压电源，透镜系统，球面象差计算，微型加工，微型记录，电子束曝