热学微系统技术

热学微系统技术
9787030201591
刘静编著

O551
科学出版社
2008-01
2008
2008
本书围绕热科学前沿领域内近年来发展迅速的微系统技术，集中阐述一些典型微器件的基本原理及研究方法，并剖析了相应主题上若干可供探索的途径和新方向。