固体薄膜材料与制备技术

固体薄膜材料与制备技术
9787030212061
宁兆元[等]编著

TB43
科学出版社
2008-05
2008
2008
本书共分10章，内容包括：薄膜的特征、真空技术基础、等离子体技术基础、薄膜的物理气相沉积、化学气相沉积、膜厚和沉积速率的测量、低介电常数薄膜材料等。