薄膜晶体管原理与技术
9787030733320
陈文彬 编著
TN321
科学出版社
2022-10
2022
2022
薄膜晶体管（TFT）是一种金属-绝缘层-半导体场效应管，迄今已经历了60年的发展，在原理与技术方面的创新层出不穷。本书首先概述TFT的物理基础及典型薄膜工艺原理；接着以氢化非晶硅、低温多晶硅、金属氧化物和有机TFT为主，系统介绍TFT相关的材料、器件及制备技术；再以有源驱动液晶显示和有机发光显示两种显示技术为主，介绍TFT面板驱动原理及集成制造工艺技术；最后介绍柔性TFT在材料、器件及制造工艺等方面的进展及所面临的挑战。每章后附有知识点和思考题，思考题可供课后作业或课堂讨论使用。
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