等离子体放电
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等离子体放电原理与材料处理

等离子体放电原理与材料处理

《等离子体放电原理与材料处理》,作者:(美)迈克尔·A.力伯曼(Michael A. Lieberman)，(美)阿伦·J.里登伯格(Allan J. Lichtenberg)著；蒲以康等译 出版社:科学出版社 ISBN:9787030186591。本书阐述了等离子体物理和化学的基本原理及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉
壹号书单 2007年03月01日
闭式透波等离子体放电与隐身应用

闭式透波等离子体放电与隐身应用

《闭式透波等离子体放电与隐身应用》,作者:徐浩军等著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030621436。《闭式透波等离子体放电与隐身应用》立足于飞行局部强散射部件的雷达散射截面缩减,以闭式透波腔等离子体隐身技术为研究对象,设计研制了闭式透波等离子体发生器,并基于低功耗的等离子体产生方法开展了放电实验,同时对等离子体参数诊断和针对提升隐身效果的参数优化进行了一些探索性的方法研究。《闭
壹号书单 2019年11月01日