微纳制造与微机电系统
《微纳制造与微机电系统》,作者:李经民,刘冲,王立鼎 编著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030793584。《微纳制造与微机电系统》体系严密，深入浅出，将基本概念、工艺技术、典型器件和系统应用相结合，使读者能够全面地理解和掌握微纳制造与微机电系统相关知识。《微纳制造与微机电系统》共8章，第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程与未来发展趋势；第2、3章分别介绍体硅和表面微加工
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