真空镀膜原理与技术 《真空镀膜原理与技术》,作者:方应翠 出版社:科学出版社 ISBN:9787030398987。本书阐述了真空镀膜的应用，以及真空镀膜薄膜在基体表面生长的过程，探讨了薄膜生长的影响因素。具体介绍了真空镀膜的各种方法，包括真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀以及化学气相沉积的原理、特点、装置及应用技术等。 壹号书单 2014年02月01日 1 点赞 0 评论 33 浏览
