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生物微机电系统 : [英文本] | BioMEMS影印版
《生物微机电系统 : [英文本] | BioMEMS影印版》,作者:Gerald A. Urban[编著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030188489。本书对生物微系统进行了简单的回顾，并把微纳米技术广泛渗透到生物和医学领域。
微机电系统
微机电系统(MEMS)制造技术
《微机电系统(MEMS)制造技术》,作者:苑伟政，乔大勇著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030399748。本书共9章，分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。
射频微机电系统的理论、设计、制备及应用
《射频微机电系统的理论、设计、制备及应用》,作者:张海霞，缪旻，东方明 出版社:科学出版社 ISBN:9787030389961。本书分析和阐述传输线、天线、可调电感、可变电容、开关、滤波器、移相器等核心器件的基本原理、主要类型、设计方法、加工技术、性能测试和典型应用等，为读者勾勒出射频微机电系统技术较为全面的技术基础、研究现状和发展趋势。
微机电系统设计 : 建模、仿真与可视化
《微机电系统设计 : 建模、仿真与可视化》,作者:卢桂章，赵新著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030292209。本书建立了一种微电子机械器件的设计方法，对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善，其基本思路是在设计阶段，当版图和工艺设计完成后，通过建立运动部件的动态模型，进行三维可视化仿真，形成器件在虚拟环境中运行，从而对器件的运动功能进行评测。
用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》,作者:Rebecca Cheung著；王晓浩 ，唐飞，王文弢译 出版社:科学出版社 ISBN:9787030268624。本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。
