X射线光学在固体领域中的应用
《X射线光学在固体领域中的应用》,作者:奎瑟 出版社:科学出版社 ISBN:130312787。本书重点介绍与固体材料微观结构研究及固体器件制作密切相关的几种新型X射线光学技术，详细阐述对半导体器件和其他高集成度固体器件进一步微型化具有十分重要意义的X射线光刻技术的科学原理、工艺过程及实际应用，还讨论了X射线干涉量度术、中子干涉量度术、X射线形貌术、中子形貌术的理论基础——
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