吉利久

计算微电子学

《计算微电子学》,作者:吉利久编著 出版社:科学出版社 ISBN:7030046161。本书主要介绍用数值方法求解微电子技术所涉及的基本方程.目的是为读者在计算数学与微电子技术之间建立联系,向读者提供一些实现集成电路最大成品率的有效设计方法. 本书共五章,分为工艺模拟、器件模拟、电学性能模拟和中心化设计四个专题,具体内容包括:集成电路基本加工过程的工